Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
Es wird ein mikromechanisches Bauelement mit einem Substrat und einer aus dem Material des Substrats gebildeten mikromechanischen Funktionsschicht vorgeschlagen, wobei das Substrat eine Haupterstreckungsebene aufweist und wobei das Substrat und die mikromechanische Funktionsschicht zumindest teilweise in einer parallel zur Haupterstreckungsebene angeordneten Ebene liegend vorgesehen sind und wobei ferner die mikromechanische Funktionsschicht sich senkrecht zur Haupterstreckungsebene wenigstens über 30% der Substratdicke erstreckend vorgesehen ist.
PS 10 2008 003 242.5 - B81B 1/00. AT 04.01.2008; OT 09.07.2009; PT 30.03.2017. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Ulbrich, Nicolaus, 72810 Gomaringen, DE.