Verfahren zur Herstellung eines Polymerstempels zum Abformen von Vorrichtungen mit Mikro- und Nanostrukturen und entsprechende Vorrichtung

EP 60 2010 004 030.5 – B81C 99/00. AT 12.02.2010; OT 22.09.2011; PT 12.12.2012. Anm.: Consejo Superior de Investigaciónes Científicas, Madrid, ES; Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, 14109 Berlin, DE. Erf.: Sabaté Vizcarra, Neus, 08014, Barcelona, ES, Esquivel Bojorquez, Juan Pablo, 08023, Barcelona, ES, Lörgen, Marcus, 15738, Zeuthen, DE, Senn, Tobias, 8004 Zürich, CH, Cané Ballart, Carles, 08221, Terrassa, ES.

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