Kapazitive mikro- und/ oder nanoelektronische Vorrichtung mit erhöhter Kompaktheit

EP 60 2015 000 670.4 - B81B 3/00. AT 22.05.2015; OT 02.12.2015; PT 09.11.2016. Anm.: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Paris, FR. Erf.: Robert, Philippe, 38000 GRENOBLE, FR Joet, Loïc, 38000 GRENOBLE, FR

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Mikropumpe

• MEMS-Vorrichtung

• Einkapselung in einem hermetisch abgeschlossenen Hohlraum eines mikroelektronischen Bauteiles, insbesondere eines MEMS

• Verfahren zum Prüfen von MEMS-Vorrichtungen

• Verfahren zum Einkapseln einer Mikrokomponente

• Bauteil mit eingekapseltem aktivem Element und implantierbare medizinische Vorrichtung, die ein solches Bauteil beinhaltet

• Mikromechanisches Bauelement mit Federbalken und integriertem elektrischen Funktionselement

• Flüssigkeitsdurchlässiger Körper mit superhydrophober Oberfläche

• Vorrichtung und Verfahren zum Leiten einer Flüssigkeit durch einen ersten oder zweiten Auslasskanal

• Mikromechanischer Sensor und Verfahren zu seiner Herstellung

Links zu diesem Artikel

Werbepartner