Kapazitive mikro- und/ oder nanoelektronische Vorrichtung mit erhöhter Kompaktheit

EP 60 2015 000 670.4 - B81B 3/00. AT 22.05.2015; OT 02.12.2015; PT 09.11.2016. Anm.: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Paris, FR. Erf.: Robert, Philippe, 38000 GRENOBLE, FR Joet, Loïc, 38000 GRENOBLE, FR

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