Verfahren zur Herstellung einer mikro-oder nanomechanischen Struktur, die eine poröse Oberfläche enthält

EP 60 2014 000 868.2 - B81C 1/00. AT 18.02.2014; OT 20.08.2014; PT 17.02.2016. Anm.: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Paris, FR. Erf.: Ollier, Eric, 38100 GRENOBLE, FR

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