MEMS-Vorrichtung mit zentralem Anker zur Belastungsisolation

EP 60 2012 009 924.0- B81B 3/00. AT 02.04.2012; OT 24.10.2012; PT 26.08.2015. Anm.: Freescale Semiconductor, Inc., Austin, Tex., US. Erf.: Lin, Yizhen, Gilbert, AZ Arizona 85233, US; Li, Gary G., Chandler, AZ Arizona 85286, US; McNeil, Andrew C, Chandler, AZ Arizona 85225, US; Zhang, Lisa Z., Chandler, AZ Arizona 85286, US.

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