Mikromechanische Vorrichtung, mikromechanischer Sensor und Verfahren
Es wird eine mikromechanische Vorrichtung, ein mikromechanischer Sensor und ein Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung vorgeschlagen, wobei im Bereich des Membranrandes eine Verstärkung derart vorgesehen ist, dass die Verstärkung mittels einer in der Membran angeordneten Verstärkungsschicht und/oder in Form eines vergrößerten Übergangsradius von der Membran zum Substratmaterial vorgesehen ist.
PS 10 2005 035 058.5 - B81B 3/00. AT 27.07.2005; OT 01.02.2007; PT 21.01.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Müller-Fiedler, Roland, 71229 Leonberg, DE Hecht, Hans, 70825 Korntal-Münchingen, DE Fuertsch, Matthias, 72810 Gomaringen, DE Weber, Heribert, 72622 Nürtingen, DE Gruen, Detlef, 72760 Reutlingen, DE Schink, Rainer, 71229 Leonberg, DE Schelling, Christoph, 72762 Reutlingen, DE Kramer, Torsten, 72827 Wannweil, DE Verhoeven, Herbert, 72127 Kusterdingen, DE