MEMS-Sensor

EP 60 2013 004 350.7 - B81B 3/00. AT 31.05.2013; OT 03.12.2014; PT 30.12.2015. Anm.: Tronics Microsystems S.A., Crolles, FR. Erf.: Boillot, François Xavier, 38100 Grenoble, FR Laoubi, Rémi, 38000 Grenoble, FR.

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