Mikromechanisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauteils
Beschreibung: Es werden Maßnahmen vorgeschlagen, die prozessbedingten eingefrorenen mechanischen Spannungen in der Membran eines mikromechanischen Bauteils entgegenwirken. Die Membran ist in einem Schichtsystem auf einem Substrat ausgebildet und überspannt eine Kaverne im Substrat. Das Schichtsystem umfasst mindestens eine auf dem Substrat ausgebildete Trägerschicht für Schaltungselemente. Außerdem ist auf der Trägerschicht mindestens eine strukturierte Maskierschicht zur Definition der Schaltungselemente ausgebildet. Erfindungsgemäß wird die Maskierschicht im Bereich der Membran so strukturiert, dass mechanische Spannungen, die bei Vakuum (p = 0 bar) im Bereich der Membran wirksam sind, zumindest teilweise kompensiert werden, wobei der intrinsische Stress der Maskierschicht beim Layout der Strukturierung berücksichtigt wird.
PS 10 2004 036 433.8 – B81B 3/00. AT 27.07.2004; OT 23.03.2006; PT 28.03.2013. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Muchow, Jörg, 72764 Reutlingen, DE, Ohms, Torsten, 70839 Gerlingen, DE, Senz, Volkmar, Zürich, CH, Ullrich, Günther-Nino-Carlo, Pisa, IT, Gampp, Ronald, 72764 Reutlingen, DE.