Mikro-Elektro-Mechanisches System und Verfahren zum Herstellen desselben

PS 10 2014 202 736.2 - B81B 1/00. AT 14.02.2014; OT 03.09.2015; PT 10.11.2016. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Lisec, Thomas, 25524 Itzehoe, DE Stoppel, Fabian, 25524 Itzehoe, DE

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