Mikromechanisches Bauelement mit Schrägstruktur und entsprechendes Herstellungsverfahren
Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement mit Schrägstruktur und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Das Bauelement umfasst ein Substrat mit einer Oberfläche; einen ersten Anker, welcher auf der Oberfläche des Substrats vorgesehen ist und welcher sich vom Substrat wegerstreckt; und mindestens einen an einer Seitenfläche des Ankers vorgesehenen Ausleger, welcher schräg vom Anker weggerichtet ist.
PS 10 2008 001 038.3 - B81B 1/00. AT 08.04.2008; OT 15.10.2009; PT 11.08.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Pirk, Tjalf, 71229 Leonberg, DE Pinter, Stefan, 72764 Reutlingen, DE Benzel, Hubert, 72124 Pliezhausen, DE Weber, Heribert, 72622 Nürtingen, DE Krueger, Michael, 72072 Tübingen, DE Sattler, Robert, 71229 Leonberg, DE Njimonzie, Frederic Njikam, 72762 Reutlingen, DE Muchow, Joerg, 72764 Reutlingen, DE Fritz, Joachim, 72762 Reutlingen, DE Schelling, Christoph, 70597 Stuttgart, DE Friese, Christoph, 71229 Leonberg, DE