Mikroelektromechanische Systemvorrichtung (MEMS-Vorrichtung)

EP 60 2011 003 210.0 – B81B 7/00. AT 20.04.2011; OT 24.10.2012; PT 02.10.2013. Anm.: Tronic's Microsystems, Crolles, FR. Erf.: Renard, Stephane, 38560 Champ sur Drac, FR, Collet, Joel, 38410 Saint Martin d'Uriage, FR, Filipe, Antoine, 38700 La Tronche, FR, Boillot, Francois-Xavier, 38000 Grenoble, FR.

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