MEMS-Vorrichtungen

WP 60 2009 037 518.0 - B81C 1/00. AT 19.05.2009; OT 03.12.2009; PT 06.04.2016. Anm.: NXP B.V., Eindhoven, NL. Erf.: Verheijden, Greja. J., A., M., Redhill Surrey RH1 1DL, GB Meunier-Beillard, Philippe, Redhill Surrey RH1 1DL, GB Donkers, Johannes, J., T., M., Redhill Surrey RH1 1DL, GB

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