Integrierte Struktur mit bidirectionalem vertikalem Antrieb

EP 60 2014 002 502.1 - B81B 3/00. AT 09.04.2014; OT 17.09.2014; PT 29.06.2016. Anm.: InvenSense, Inc., Sunnyvale, Calif., US. Erf.: Daneman, Michael Julian, Campbel, CA 95008, US Lim, Martin, San Mateo, CA, US Hung, Li-Wen, Wappingers Falls, NY 12590, US Lloyd, Stephen, Los Altos, CA 94024, US

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