Mikromechanisches Element
PS 10 2010 028 111.5 - B81B 3/00. AT 22.04.2010; OT 27.10.2011; PT 21.01.2016. Anm.: Technische Universität Dresden, 01069 Dresden, DE; Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Jung, Denis, 01099 Dresden, DE Holger, Conrad, 01307 Dresden, DE.