Strömungssensor mit einem Dünnfilmabschnitt und Verfahren zur Herstellung desselben
Ein Strömungssensor zum Erfassen einer Strömung einer Flüssigkeit beinhaltet einen Dünnfilmabschnitt. Der Dünnfilmabschnitt weist eine Heizeinrichtung und eine Erfassungseinrichtung auf zum Erfassen einer Temperatur um die Heizeinrichtung. Die Heizeinrichtung ist aus einem Halbleiter hergestellt. Dieser Strömungssensor besitzt eine hohe Sensorempfindlichkeit bei niedrigem Energieverbrauch. Ferner besitzt der Sensor eine hohe Erfassungsgenauigkeit, und hat der Dünnfilmabschnitt eine hohe Dauerhaltbarkeit. Darüber hinaus hat der Strömungssensor mit einem Passivierungsfilm eine geeignete Dicke, derart, dass die Festigkeit des Dünnfilmabschnitts verbessert ist.
PS 103 58 281.9 - B81B 1/00. AT 12.12.2003; OT 22.07.2004; PT 05.11.2015. Anm.: DENSO CORPORATION, Kariya-city, Aichi-pref., JP. Erf.: Iwaki, Takao, Kariya, Aichi, JP Wado, Hiroyuki, Kariya, Aichi, JP Yamamoto, Toshimasa, Kariya, Aichi, JP Isomura, Kiyokazu, Kariya, Aichi, JP Mizutani, Tomoyuki, Kariya, Aichi, JP Teshigahara, Akihiko, Kariya, Aichi, JP Abe, Ryuuichirou, Kariya, Aichi, JP