Halbleiterbauelemente mit einer mikromechanischen Mikrofonstruktur

WP 50 2010 009 660.4 - B81B 3/00. AT 06.04.2010; OT 09.12.2010; PT 10.06.2015. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Reichenbach, Frank, 72827 Wannweil, DE; Buck, Thomas, 71732 Tamm, DE; Hoechst, Arnim, 72770 Reutlingen, DE.

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