Mikromechanische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung
Es wird eine mikromechanische Vorrichtung, ein Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung und eine Verwendung einer mikromechanischen Vorrichtung vorgeschlagen, wobei die mikromechanische Vorrichtung ein Substrat und eine eine Membranebene aufweisenden Membran aufweist, wobei die Membran mittels eines Aufhängungsbereichs aufgehängt vorgesehen ist, wobei ferner der Aufhängungsbereich im wesentlichen senkrecht zur Membranebene verlaufend vorgesehen ist, wobei im Aufhängungsbereich wenigstens eine im wesentlichen teilweise senkrecht zur Membranebene verlaufende Elektrode vorgesehen ist.
PS 10 2006 022 377.2 - B81B 3/00. AT 12.05.2006; OT 22.11.2007; PT 03.03.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Benzel, Hubert, 72124 Pliezhausen, DE Pinter, Stefan, 72764 Reutlingen, DE Schelling, Christoph, 72762 Reutlingen, DE Hoechst, Arnim, 72076 Tübingen, DE.