Mikromechanisches Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren

WP 501 16 375.1 – B81C. AT 22.03.2001;, OT 18.10.2001; PT 08.01.2014. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Offenberg, Michael, 72138 Kirchentellinsfurt, DE, Lutz, Markus, Sunnyvale, CA 94086, US.

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