Mikromechanisches Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren

WP 501 16 375.1 – B81C. AT 22.03.2001;, OT 18.10.2001; PT 08.01.2014. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Offenberg, Michael, 72138 Kirchentellinsfurt, DE, Lutz, Markus, Sunnyvale, CA 94086, US.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Sensor und Verfahren zum Herstellen eines Sensors

• Mikromechanischer Sensor mit perforationsoptimierter Membran sowie ein geeignetes Hestellungsverfahren

• Einkapselung in einem hermetisch abgeschlossenen Hohlraum eines mikroelektronischen Bauteiles, insbesondere eines MEMS

• Sensor mit Maskierung

• Mikrostruktur und zugehöriges Herstellungsverfahren

• MEMS-Vorrichtung

• Mikromechanisches Bauelement mit erhöhter Steifigkeit und Verfahren zum Herstellen desselben

• Herstellungsverfahren für eine mikromechanische Sensorvorrichtung mit geätzter Rückseitenkaverne, entsprechende Ätzvorrichtung und entsprechende mikromechanische Sensorvorrichtung

• MEMS Aktuator, System mit einer Mehrzahl vom MEMS Aktuatoren und Verfahren zum Herstellen eines MEMS Aktuators

• Verfahren zur Erzeugung dünner, freistehender Schichten aus Festkörpermaterialien mit strukturierten Flächen

Links zu diesem Artikel

Werbepartner