Mikromechanisches Bauteil mit mindestens zwei Kavitäten mit unterschiedlichem Innendruck und/oder unterschiedlicher Gaszusammensetzung

GM 20 2007 019 626.1 – B81B 7/00. AT 04.04.2007; ET 05.08.2014; PT 11.09.2014. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Mikromechanisches Bauteil mit mindestens zwei Kavitäten mit unterschiedlichem Innendruck und/oder unterschiedlicher Gaszusammensetzung

• Sensor mit einem mikroelektromechanischem Chip (MEMS-Chip)

• MEMS-Stellglieder

• Verfahren zur Herstellung eines Mems-Mikroskops

• Mikroventilstruktur mit einem Polymeraktor und Lab-on-a-chip Modul

• Normal-geschlossenes Rückschlagventil für mikrofluidische Bauteile aus einem polymeren Schichtsystem und Verfahren zum Herstellen des Rückschlagventils

• Vorrichtung und Verfahren zur Handhabung von Reagenzien

• Gehäuse für in mobilen Anwendungen eingesetzte mikromechanische und mikrooptische Bauelemente

• MEMS-Bauelement mit einer deformierbaren Membran

• Form für Galvanoplastik und ihr Herstellungsverfahren

Links zu diesem Artikel

Werbepartner