Mikromechanisches Bauteil mit mindestens zwei Kavitäten mit unterschiedlichem Innendruck und/oder unterschiedlicher Gaszusammensetzung

GM 20 2007 019 626.1 – B81B 7/00. AT 04.04.2007; ET 05.08.2014; PT 11.09.2014. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE.

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