Verfahren zur Herstellung eines mikroelektromechanischen Bauteils und mikroelektromechanisches Bauteil

WP60 2006 049 990.6 - B81C 1/00. AT 21.11.2006; OT 31.05.2007; PT 17.08.2016. Anm.: Murata Electronics Oy, Vantaa, FI. Erf.: Kuisma, Heikki, FI-00420 Helsinki, FI Niemistö, Jiri, FI-02600 Espoo, FI

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