Produktion von Mikrostrukturen in Mikrosystemen

PS 10 2013 005 633.0 - B81C 1/00. AT 04.04.2013; OT 09.10.2014; PT 17.09.2015. Anm.: Universität Bremen, 28359 Bremen, DE. Erf.: Lang, Walter, Prof. Dr.-Ing., 28357 Bremen, DE.

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