Mikromechanisches Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren
WP 50 2006 014 922.2 - B81C 1/00. AT 25.01.2006; OT 10.08.2006; PT 04.05.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Reichenbach, Frank, 72827 Wannweil, DE Lärmer, Franz, 71263 Weil Der Stadt, DE Kronmüller, Silvia, 71409 Schwaikheim, DE Schelling, Christoph, 72762 Reutlingen, DE Fuchs, Tino, 72072 Tübingen, DE Leinenbach, Christina, 66806 Ensdorf, DE