Mikrospiegelbauteil mit linienförmiger Biegefeder sowie Verfahren zu dessen Herstellung
PS 10 2011 104 843.3 – B81B 7/02. AT 16.06.2011; OT 08.11.2012; PT 07.02.2013. Anm.: Technische Universität Darmstadt, 64283 Darmstadt, DE. Erf.: Greiner, Paul Felix, 34613 Schwalmstadt, DE, Schlaak, Helmut Friedrich, 64372 Ober-Ramstadt, DE, Quednau, Sebastian, 64297 Darmstadt, DE, Staab, Matthias Armin, 63762 Großostheim, DE.