Mikromechanisches Bauelement mit erhöhter Steifigkeit und Verfahren zum Herstellen desselben
WP 11 2007 003 051.8 – B81B 3/00. AT 23.01.2007; OT 01.10.2009; PT 20.12.2012. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Schenk, Harald, 01139 Dresden, DE, Sandner, Thilo, 01156 Dresden, DE.