Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung, insbesondere einer mikromechanischen Schwingspiegelvorrichtung

WP 503 15 399.0 - B81C 1/00. AT 21.02.2003; OT 26.02.2004; PT 13.01.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Metzger, Lars, 72458 Albstadt, DE Fischer, Frank, 72810 Gomaringen, DE.

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