Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung
Es werden Maßnahmen zur Realisierung eines mikromechanischen Bauelements mit einer zumindest bereichsweise spannungsfreien Membranstruktur vorgeschlagen, mit denen sich alternativ dazu oder auch zusätzlich ein Überlastschutz in die Bauelementstruktur integrieren lässt. Die Membranstruktur ist im Schichtaufbau des mikromechanischen Bauelements ausgebildet. Sie umfasst mindestens einen ersten Membranbereich, der im Wesentlichen parallel zu einer ersten Schicht ausgebildet ist, wobei zwischen diesem ersten Membranbereich und der ersten Schicht ein Hohlraum ausgebildet ist. Erfindungsgemäß umfasst die Membranstruktur ferner mindestens eine Einstülpung, die in eine komplementäre Ausnehmung in der ersten Schicht hineinragt.
PS 10 2006 040 345.2 - B81B 3/00. AT 29.08.2006; OT 06.03.2008; PT 11.08.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Laermer, Franz, 71263 Weil der Stadt, DE Schelling, Christoph, 72762 Reutlingen, DE Hoechst, Arnim, 72076 Tübingen, DE