Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils

EP 60 2008 030 751.4 – B81C 99/00. AT 10.07.2008; OT 20.01.2010; PT 12.03.2014. Anm.: The Swatch Group Research and Development Ltd., Marin, CH. Erf.: Dinger, Rudolf, 2024, Saint-Aubin, CH, Ravenel, Thierry, 2068, Hauterive, FR.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• MEMS Sensor für schwierige Umgebungen und Medien

• Verfahren zur Herstellung mikromechanischer Strukturen sowie mikromechanische Struktur

• Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung von Schwingungen

• Verfahren zur Herstellung einer mikro-oder nanomechanischen Struktur, die eine poröse Oberfläche enthält

• Integrierte Struktur mit bidirectionalem vertikalem Antrieb

• Hohlraumverbindungsstruktur, die einen oder mehrere aufsteigende Leiter an den Wänden des Hohlraums aufweist, und entsprechendes Herstellungsverfahren

• Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils

• Verfahren zur Herstellung eines integrierten mikrofluidischen Systems

• Verfahren zur Herstellung dünner, freistehender Schichten aus Festkörpermaterialien mit strukturierten Oberflächen

• Verfahren zur Herstellung eines oberflächenstrukturierten Gegenstands

Links zu diesem Artikel

Werbepartner