Mikromechanisches Bauelement
Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauelement mit einem Substrat, einer auf dem Substrat angeordneten isolierenden Schicht, einer auf der isolierenden Schicht angeordneten strukturierten leitfähigen Schicht, aufweisend eine Elektrode, und einer in einem Abstand zu der leitfähigen Schicht drehbar angeordneten Schwungmasse in Form einer Wippe. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass die isolierende Schicht in einem sich unterhalb der Elektrode erstreckenden Bereich eine Lochstruktur mit einer Anzahl an Aussparungen aufweist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Herstellen eines solchen Bauelements.
PS 10 2008 043 790.5 - B81B 3/00. AT 17.11.2008; OT 20.05.2010; PT 06.04.2017. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Kaelberer, Arnd, 73278 Schlierbach, DE Schubert, Dietrich, 72762 Reutlingen, DE Tebje, Lars, 72770 Reutlingen, DE Schellin, Ralf, 72770 Reutlingen, DE