Verfahren zur Herstellung dünner, freistehender Schichten aus Festkörpermaterialien mit strukturierten Oberflächen

EP 60 2009 036 747.1 - B81C 1/00. AT 18.12.2009; OT 31.07.2013; PT 09.03.2016. Anm.: SILTECTRA GmbH, 01099 Dresden, DE. Erf.: Lichtensteiger, Lukas, 8037 Zürich, CH

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