Mikrofluidik-Oberflächen-Verarbeitungseinheit und Verfahren

WP 11 2013 002 173.0 - B81B 1/00. AT 11.06.2013; OT 03.01.2014; PT 31.03.2016. Anm.: International Business Machines Corporation, Armonk, N.Y., US. Erf.: Duerig, Urs T., c/o IBM Research GmbH, IBM Resea, Rueschlikon, CH Lovchik, Robert, c/o IBM Research GmbH, IBM Resea, Rüschlikon, CH

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