Elektronisches Bauelement mit Differentialsensor-Mems-Vorrichtung und gebohrten Substraten

WP 60 2008 036 438.0 – B81B 7/00. AT 23.01.2008; OT 31.07.2008; PT 21.01.2015. Anm.: STMicroelectronics Srl, Agrate Brianza, IT. Erf.: Baldo, Lorenzo, I-20010 Bareggio, IT, Cortese, Mario, Francesco, I-20096 San Donato Milanese, IT, Combi, Chantal, I-23848 Oggiono, IT.

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