Mikromechanisches System mit einstellbarem Schwingungsverhalten und Verfahren zu seinem Betrieb
Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches System, umfassend mindestens eine auslenkbare Masse, die über mindestens ein Federelement mit einer Stützstruktur verbunden ist, in dem Mittel enthalten sind, die zusätzlich zu Kräften, die aus Deformationen des Federelementes resultieren, eine Kraftübertragung auf die auslenkbare Masse ermöglichen.
PS 10 2006 029 627.3 - B81B 3/00. AT 28.06.2006; OT 03.01.2008; PT 13.05.2015. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Krueger, Michael, 72072 Tübingen, DE.