MEMS-Bauelement mit einer deformierbaren Membran

PS 10 2014 224 063.8 - B81B 7/02. AT 26.11.2014; OT 17.03.2016; PT 17.03.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.:Ahles, Marcus, 72793 Pfullingen, DE Wisniewski, Marc, 72124 Pliezhausen, DE Mitschke, Michaela, 72762 Reutlingen, DE Duell, Andreas, 70567 Stuttgart, DE Zehringer, Stefan, 72770 Reutlingen, DE Oppl, Stephan, 72793 Pfullingen, DE Grutzeck, Helmut, 72127 Kusterdingen, DE Zimmermann, Soeren, 72770 Reutlingen, DE Franz, Jochen, 72764 Reutlingen, DE