Mikromechanische Sensorvorrichtung mit Moldverpackung und entsprechendes Herstellungsverfahren

PS 10 2011 084 582.8 – B81B 7/02. AT 17.10.2011; OT 21.02.2013; PT 21.02.2013. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Hansen, Uwe, 72076 Tübingen, DE.

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