Verfahren zur Herstellung einer Verkapselung für ein Bauteil auf einem Substrat
EP 60 2008 037 278.2 – B81C 1/00. AT 17.01.2008; OT 30.07.2008; PT 25.03.2015. Anm.. Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Paris, FR. Erf.: Bolis, Sébastien, 38920, CROLLES, FR.