Dreidimensionale Mikrostrukturen und Herstellungsverfahren dafür

EP 60 2007 047 584.8 - B81B 3/00. AT 28.12.2007; OT 02.07.2008; PT 24.08.2016. Anm.: Nuvotronics, LLC, Radford, Va., US. Erf.: Houck, William, Blacksburg, VA 24060, US Sherrer, David, Radford, VA 24141, US

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