MEMS-Vorrichtung mit Polymerschicht, System einer MEMS-Vorrichtung mit einer Polymerschicht, Verfahren zum Herstellen einer MEMS-Vorrichtung mit einer Polymerschicht

PS 10 2014 100 238.5 - B81B 3/00. AT 10.01.2014; OT 17.07.2014; PT 20.10.2016. Anm.: Infineon Technologies AG, 85579 Neubiberg, DE. Erf.: Dehe, Alfons, 72770 Reutlingen, DE

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