Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Drucksensors
Beschreibung: Die Erfindung beschreibt einen mikromechanischen Drucksensor, der aus wenigstens einem ersten Bauelement und einem zweiten an das erste Bauelement angrenzenden Bauelement besteht. Dabei ist vorgesehen, dass das erste Bauelement wenigstens eine Membran und eine Kaverne umfasst. Weiterhin ist vorgesehen, dass die Kaverne derart ausgestaltet ist, dass das zu messende Medium durch die Kaverne Zugang zur Membran erhält. Darüber hinaus ist im zweiten Bauelement eine Öffnung vorgesehen, die das zu messende Medium zur Kaverne führt. Der Kern der Erfindung besteht nun darin, dass wenigstens ein Teil der Kaverne eine übergangslose Verlängerung der Öffnung im zweiten Bauelement darstellt.
PS 10 2004 006 197.1 – B81B 1/00. AT 09.02.2004; OT 27.01.2005; PT 17.10.2013. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Muchow, Joerg, 72764 Reutlingen, DE, Benzel, Hubert, 72124 Pliezhausen, DE, Guenschel, Roland, 72770 Reutlingen, DE.