Verfahren zur Verkapselung eines Bauelements in einer Mikrokavität

WP 60 2006 048 636.7 - B81C 1/00. AT 06.02.2006; OT 10.08.2006; PT 13.04.2016. Anm.: IMEC, Leuven, BE; Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BE. Erf.: Witvrouw, Ann, B-3020 Herent, BE van Hoof, Chris, B-3001 Leuven, BE Hellin Rico, Raquel Consuelo, E-03600 Elda (Alicante), ES Muscat, Anthony, Joseph, 85750 AZ Tucson, US Fransaer, Jan, B-3061 Leefdael, BE Celis, Jean-Pierre, B-3360 Korbeek-Lo, BE