Schutzkapsel für MEMS-Vorrichtungen

EP 60 2007 028 377.9 – B81C 1/00. AT 20.03.2007; OT 08.11.2007; PT 13.02.2013. Anm.: Teledyne Dalsa Semiconductor Inc., Waterloo, CA. Erf.: Ouellet, Luc, Granby Québec J2H 2R8, CA, Archambault, Sylvie, Granby Québec J2J 1R1, CA, Giard, Veronique, Canton de Granby Québec J2H 1N3, CA, Ignatiuk, Paul, Westmount Québec H3Z 3C7, CA.

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