Miniaturisierter Sensor mit einem Heizelement und zugehöriges Herstellungsverfahren

WP 60 2012 010 476.7 - B81B 3/00. AT 12.07.2012; OT 17.01.2013; PT 09.09.2015. Anm.: Centre National de la Recherche Scientifique, Paris, FR; Ecole Centrale de Lille, Villeneuve d'Ascq, FR. Erf.: Viard, Romain, 68400 Riedisheim, FR; Talbi, Abdelkrim, F-59110 La Madeleine, FR; Pernod, Philippe, Jacques, F-59800 Lille, FR; Merlen, Alain, F-59000 Lille, FR; Preobrazhensky, Vladimir, F-59650 Villeneuve d'Ascq, FR.

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