MEMS Sensor für schwierige Umgebungen und Medien

PS 10 2014 000 243.8 - B81B 3/00. AT 06.01.2014; OT 13.11.2014; PT 25.06.2015. Anm.: Elmos Semiconductor Aktiengesellschaft, 44227 Dortmund, DE. Erf.: Burchard, Bernd, Dr., 45276 Essen, DE.

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