Verfahren zur Herstellung eines mehrschichtigen Aufbaus mit einer mikrostrukturierten Oberfläche

PS 10 2011 050 722.1 – B81C 1/00. AT 30.05.2011; OT 06.12.2012; PT 28.11.2013. Anm.: Karlsruher Institut für Technologie, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, DE; microworks GmbH, 76137 Karlsruhe, DE. Erf.: Schulz Dr., Joachim, 76137 Karlsruhe, DE, Walter, Marco, 76131 Karlsruhe, DE, Blank, Thomas, 76187 Karlsruhe, DE.

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