Verfahren zur Herstellung einer Mikrofonstruktur und einer Drucksensorstruktur im Schichtaufbau eines MEMS-Bauelements

PS 10 2015 206 863.3 - B81C 1/00. AT 16.04.2015; OT 25.05.2016; PT 25.05.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Schoen, Florian, 71155 Altdorf, DE Gehl, Bernhard, 72827 Wannweil, DE

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