Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Teils aus verstärktem Silizium

EP 60 2010 023 217.4 – B81C 1/00. AT 20.07.2010; OT 27.01.2011; PT 18.03.2015. Anm.: Montres Breguet SA, L'Abbaye, CH. Erf.: Karapatis, Nakis, CH-1324 Premier, CH.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Verfahren zur Herstellung einer Mikrodüse

• Extern induzierte Ladungsstrukturierung mit Gleichrichtungsvorrichtungen zum Zusammenbau von Mikroobjekte

• Verfahren zur Reinigung einer Walzwerkswalze und entsprechende Vorrichtung

• Verfahren zur Herstellung eines Sensors

• Verfahrenen zur Herstellung eines Mikroelektromechanischen-System- (MEMS-) Bauelements

• Verfahren zum Aufdrucken einer Nano- und/oder Mikrostruktur

• Mikromechanisches Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren

• Dreideimensionale Mikro-Struktur, Anordnung mit mindestens zwei dreidimensionalen Mikro-Strukturen, Verfahren zum Herstellen der Mikrostruktur und Verwendung der Mirkostruktur

• Halbleitersensor für eine dynamische Größe mit Selbstdiagnosefunktion

• Verfahren zur Herstellung integrierter Mikrosysteme

Links zu diesem Artikel

Werbepartner