Mikromechanisches Bauelement mit einer Membranstruktur

WP 50 2014 001 703.9 - B81B 3/00. AT 03.01.2014; OT 14.08.2014; PT 12.10.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Zoellin, Jochen, 79379 Muellheim, DE Schelling, Christoph, 70597 Stuttgart, DE

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