Herstellung von Mikrofluidchips, die Elektroden auf einer Höhe mit Mikrokanalwänden aufweisen

WP 11 2014 001 600.4 - B81B 1/00. AT 18.06.2014; OT 31.12.2014; PT 03.11.2016. Anm.: International Business Machines Corp., Armonk, N.Y., US; Unitec Semicondutores S.A., Ribeirao das Neves, BR. Erf.: Delamarche, Emmanuel, Rüschlikon, CH Guenzler, Tobias, Ribeirão das Neves, BR Temiz, Yuksel, Rüschlikon, CH Treiber, Tino, Ribeirão das Neves, BR