Verfahren zur Erzeugung einer mikromechanischen Struktur
Beschreibung: Bei einem Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur wird zunächst eine zweidimensionale Struktur in einem Substrat ausgebildet. Die zweidimensionale Struktur wird aus der Substratebene durch Krafteinwirkung ausgelenkt und in dem ausgelenkten Zustand fixiert.
PS 10 2008 013 116.4 – B81C 1/00. AT 07.03.2008; OT 09.10.2008; PT 11.04.2013. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Jung, Denis, 01099 Dresden, DE, Drabe, Christian, 01099 Dresden, DE, Sandner, Thilo, Dr., 01156 Dresden, DE, Schenk, Harald, Dr., 01139 Dresden, DE, Klose, Thomas, 01109 Dresden, DE, Wolter, Alexander, Dr., 01156 Dresden, DE.