Vorrichtung mit einer Mikrostruktur und Herstellungsverfahren dieser Vorrichtung

EP 60 2009 012 614.8 – B81C 1/00. AT 03.11.2009; OT 16.06.2011; PT 09.01.2013. Anm.: NXP B.V., Eindhoven, NL. Erf.: Van Beek, Jozef Thomas Martinus, Redhill, Surrey RH1 1DL, GB, Koops, Gerhard, Redhill, Surrey RH1 1DL, GB, Verheijden, Greja Johanna Adriana Maria, Redhill, Surrey RH1 1DL, GB, Van Wingerden, Johannes, Redhill, Surrey RH1 1DL, GB.

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