Mikromechanisches Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren
EP 501 16 438.3 – B81B 1/00. AT 02.10.2001; OT 31.07.2002; PT 10.12.2014. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Schaefer, Frank, 72070 Tuebingen, DE, Weber, Heribert, 72622 Nuertingen, DE, Benzel, Hubert, 72124 Pliezhausen, DE.